| |||||
|
|
|
Оже-спектрометр для определения элементного и химического состояния поверхности и объема твердого тела НАЗНАЧЕНИЕ - оперативный контроль концентраций всех элементов и их
химического состояния (за исключением водорода и гелия)на поверхности
твердотельных объектов и их распределение в приповерхностной области
глубиной до нескольких микрометров.
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ - измерение энергетических спектров оже-электронов,
эмиттируемых при бомбардировке объекта пучком первичных электронов с
энергией в несколько кэВ. Технические характеристики Диапазон измерения концентрации элементов......................................0,1 - 100% ат.
Локальность анализа по поверхности объекта........................................100 - 5мкм
Энергия первичных электронов................................................................0,5 - 5кэВ
Предельное давление остаточных газов в аналитической камере........2,6*10-8 Ра
Регистрация оже-спектра.....................энергоанализатор с разрешением 0,25% (ЦЗА)
Время загрузки образца из атмосферы в аналитическую камеру............30 мин
Очистка образца и его послойное распыление........................................ионная пушка
с газорязрядным ионизатором и дифференциальной откачкой.
Плотность ионного тока.............................................................................3500 мкА/см2 Диаметр ионного пучка..............................................................................120 мкм
Энергия ионов.............................................................................................1-5 кэВ
Температура прогрева исследуемых объектов..........................................до 1200 С
Напыление плёнок металлов на исследуемый объект.............................малогабаритный
термический испаритель
|
 |
© НПФ «Шибболет» 2005-2011 Создание сайта - ИноТех  |
 |
