|
|
СПЕКТРОМЕТРЫ Комбинированный сверхвысоковакуумный оже-спектрометр 
Метод электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) - один из самых распространенных методов анализа элементного и химического состава поверхностей твердых тел. Основные преимущества такого метода: высокая чувствительность при проведении элементного анализа приповерхностной области толщиной 0,5-2 нм, быстрота получения информации и возможность обнаружения всех элементов, следующих за гелием в таблице Менделеева. Оже-спектр дает надежную количественную информацию о составе приповерхностного слоя, а во многих случаях — и сведения о химических связях. Первоначально ЭОС использовалась только для научных исследований, но сейчас она превратилась в стандартный метод лабораторного анализа. Она применяется в таких областях, как полупроводниковая технология, металловедение, катализ, минералогия и анализ полезных ископаемых, выращивание кристаллов. Круг ее применений быстро расширяется.
Технические характеристики
- Диапазон измерения концентраций элементов: 0,1 - 100% ат.;
- Локальность анализа по поверхности объекта: 100 - 5мкм;
- Энергия первичных электронов: 0,5-5 кэВ;
- Предельное давление остаточных газов в аналитической камере: 2,6*e-8Ра;
- Время загрузки образца с атмосферы в аналитическую камеру: 30мин;
- Плотность ионного тока (макс): 500мкА/см 2;
- Диаметр ионного пучка: 120мкм;
- Энергия ионов: 1-5кэВ;
- Температура прогрева исследуемых объектов: до 1200оС;
- Регистрация оже-спектров: энергоанализатор с разрешением 0,25% (ЦЗА);
- Напыление плёнок металлов на исследуемый объект: малогабаритный термический испаритель;
- Очистка образца и его послойное распыление: ионная пушка с газоразрядным ионизатором и дифференциальной откачкой;
- Изучение поверхностных структур монокристаллических объектов методом ДМЭ (дифрактометр медленных электронов) с прозрачным коллектором;
Проводится оперативный послойный и поверхностный анализ на предприятии изготовителе.
|
